播報：【技術】設備控制用通訊協定——GEM&Control

(相關資料圖)

設備控制用通訊協定GEMGEM(Generic model for communications and control of mau=nufacturing equipment),之前介紹過SECS II是半導體設備主機的一個 標準通訊協定，但實際在設備上并非全部會使用到。因此，若可找出設備控制上所需要用的功能項，并同時針對這些功能項來開發程式，以及設計機臺，則可以省下許多研發費用。于是，Global Information & Control committee在1992年提出了GEM的規范，只要滿足GEM所定的規范與功能需求的設備，即可稱之為滿足SECS I,SECS II與GEM的設備。

用圖來表示

符合GEM規范的設備具有以下的功能以及處理信息的能力1.建立連接1. 建立通訊（Establish Communications）：主機與設備互相要求對方建立連接，相關的Stream Function為S1F1/S1F2,S1F13/S1F142.資料收集2.1 事件告知（Even Notification）:在設備Running中，自動回報特定的資料給Host。Host無需以主動詢問的方式來獲得設備資料，相關Stream Function為S6F5/F6,S6F11/F12與S6F15/F16          2.2 動態事件回報規劃（Dynamic Event Report Configuration）:提供在一些制程環境可彈性要求設備提供所需的資料，HOST可任意的增加或者減少設備資料的輸出量。相關Stream Function為：S2F39/40,S2F33/F34,S2F35/F36與S2F37/F382.3 參數資料收集（Variable Data Collection）：Host可用來詢問設備的信息參數，在初始化和通訊同步化的過程中用處很大，相關Stream Function為S6F19/F202.4 追溯資料收集（Trace Data Collection）：要求設備以固定的周期來取樣所需的信息，可用來某些追蹤參數變化的趨勢，以監控其數值。相關Stream Function為 S2F23/F24,S6F1/F2與S2F23/F24???????2.5 極限監控（Limits Monitoring）:此項功能可使Host在必要的時候修改監控的參數值范圍（上限與下限），提供HOST一個具有彈性，有效率并且非同步的方法來監控設備的狀況。此一功能已被應用在生產操作及測試上，同時也可應用于在程序控制統計（SPC Statistical Process Control）相關Stream Function為S2F45/F46,S2F39/F40,S2F47/F482.6 狀態信息收集（Status Data Collection）:此功能為Host主動發送信息要求設備回復指定的狀態信息，作用于與設備狀態進行同步。相關Stream Function為：S1F3/F4,S1F11/F12???????2.7 線上辨認（On-line Identification）：滿足SEMI E5的基本要求，設備回應設備當前模式以及軟件版本。相關Stream Function為：S1F1/F23.警報管理???????3.1 警報管理（Alarm Management）：使得Host可以遠程得知設備上所發生的警報情況。相關Stream Function為S5F3/F4,S5F5/F6,S5F1/F2,S6F11/F12.4.遠程控制4.1遠程控制（Remote Control）：提供一個比設備更高的控制權限             -----啟動（Start）             -----選擇程式（PP-Select）             -----停止（Stop）             -----暫停（Pause）             -----重新啟動暫停中的程序（Resume processing）             -----放棄制造程序（Abort processing） 相關Stream Function為S1F41/F42,S2F49/F50與S6F11/F125.設備常數???????5.1設備常數（Equipment Constant）：提供一個Host可以取得及變更設定常數的方法，Host可在不同的情況下修改設備參數以獲得更佳的產品質量或產出。相關Stream Function為S2F15/F16,S2F15/F16,S2F13/F14,S2F19/F20,S2F29/F30與S6F11/F12.6.制程程序管理6.1制程程序管理（Process Program Management）:主要目的為在Host與設備間傳送制程程序與管理這些制程配方。Host將設備運作的程序配方（Recipes）下載并儲存與設備中，供其編輯，驗證及執行。工程師所規劃的不同配方以及設備狀態不同的條件下，每一批產品也都有不同的結果。因此配方的下達所需要考慮的情況也相當多，這也都是半導體廠最重要的一道生產程序。相關Stream Function為S6F11/F12,S7F17/F18,S7F19/F20,S7F25/F26,S7F5/F6,S7F1/F2,S7F23/F24,S7F3/F4,S7F29/F30,S7F27/F28,S6F11/F12,S15F35/F36,S14F1/F2,S15F31/F32.S15F1/F2,S15F21/F22,S15F27/F28,S15F29/F30.7.材料搬移7.1材料搬移（Material Movement）:此功能包括了在設備的暫存區與存放區之間Wafer的互相傳送，Wafer的傳送可借由AGV機器人，軌道車，傳送帶以及一些專門用來搬運的設備。相關Stream Function為S6F11/F128.設備終端服務8.1終端服務（Terminal Services）：允許Host在設備的顯示裝置上顯示一些信息，或顯示由操作員傳送到Host的信息。相關Stream Function為：S10F3/F4,S10F1/F2,S10F3/F4,S6F11/F12,S10F5/F6以及S10F7。9.錯誤信息9.1錯誤信息（Error Message）：提供Host由設備偵測到的一些有關特殊信息或者通訊失敗的原因。相關Straem Function為S9F1,S9F3,S9F5,S9F7,S9F9,S9F11,S9F13(前一篇有詳細介紹)10.時間10.1時間（Clock）:機臺提供Host一個動作的參考時間以及多個設備間的時間參考，這個時間可提供Event或者Alarm發生的時間便與解析，追溯。相關Stream Function為S2F17/F18,S2F31/F32

以上就是Gem規范的功能了，里面提到的一些Stream Function我在之前的帖子多少也有解釋。 冰凍三尺非一日之寒

最后再次感謝 七劍軟件-半導體軟件領先制造者 的合作配合